Pyrolytische Graphitbeschichtung PYROGRAPH™

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PYROGRAPH™ ist ein Produkt, auf das mittels von Toyo Tanso geschütztem CVD-Verfahren (chemische Gasphasenabscheidung) eine dünne Schicht von pyrolytischem Kohlenstoff auf hochreinen isotropen Graphit aufgebracht wird.

Merkmale

Extrem dünne pyrolytische Kohlenstoffschicht
Ultrarein
Extrem niedrige Gaspermeabilität
Herausragende Korrosionsbeständigkeit gegenüber Gas
Herausragende Oxidationsbeständigkeit bei niedrigen Temperaturen
Herausragende Wärmebeständigkeit
Keine Abgabe von Graphitpartikeln und keine Diffusion von Gas und Verunreinigungen aus dem Graphitsubstrat

Anwendung・Produkte

Anlagen für die Herstellung von Einkristallsilizium
Analysenröhrchen für Atom-Absorptionsspektrometrie
OLED-Fertigungsanlagen

Eigenschaften/Testdaten

Beispiel einer Verunreinigungsanalyse

* Messmethode: Glimmentladungs-Massenspektrometrie
* Die genannten Werte sind Messbeispiele und werden nicht garantiert.

Allgemeine physikalische Eigenschaften

* Der Messtemperaturbereich für den Wärmeausdehnungskoeffizienten beträgt Raumtemperatur bis 1.000 °C.
* Die vorstehenden Werte sind aus anderen Veröffentlichungen entnommen und werden nicht garantiert.

Gaspermeabilität

Quelle: S. 137 von „Introduction to Carbon Materials“ (Einführung in Kohlenstoffmaterialien) der Carbon Society of Japan