TaC塗層石墨 EVEREDKOTE™-B

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EVEREDKOTE™-B 是利用東洋炭素專有的化學氣相沉積 (CVD) 工藝，在高純度石墨基底表面塗敷細層 TaC（碳化鉭）而制造出的材料。

EVEREDKOTE™-B表面和SEM橫截面圖

特性

耐熱性卓越
防止石墨顆粒分離與分散、氣體釋放、石墨基底出現雜質。
出色的抗腐蝕氣體反應能力。

用途

單晶SiC生長組件
MOCVD 組件
高溫組件

特性/測試資料

一般物理特性

項目	碳化鉭
體積密度	14.5Mg/m³
熔點	3985℃
硬度	1550HK
電阻率	0.15μΩ・m
熱導率	9-22(W/m・K)
熱膨脹係數	7.1 (10⁶/K)

* 上述數值均取自以下來源，但並非保證值。
參考資料：H. Holleck：硬質塗層的材料選擇，J. Vac.Sci.Technol.A, 第 4 卷，第 6 期，1986 年 11/12 月

與不同物質發生反應

反應性物質	1200℃ × 5h	1600℃ × 5h
氯化氫	◎	◎
氨	◎	◎
氫氣	◎	◎
氧氣	× (600°C 或更多)

* ◎: 無反應，×: 明顯反應

氯化氫反應測試：20 Torr，HCl/H2 = 0.30/2.70 L/min (10%)
氨氣反應測試：20 Torr，NH3/H2 = 0.5/2.0 L/min (20%)
氫反應測試：20 Torr，H2 3.0 L/min
氧氣：在低濃度的氧化環境下，塗層出現開裂和脆化。

與銨的反應性

放射率 (輻射係數)

雜質分析範例質量ppm

元素	含量
B	<0.01
N	<5
Na	<0.01
Mg	<0.05
Al	<0.01
Si	0.14
P	<0.3
S	<0.02
Cl	-0.3 wt%
Ca	<0.05
Ti	<0.005
V	<0.005
Cr	<0.1
Mn	<0.005
Fe	0.42
Co	<0.01
Ni	0.06
Cu	<0.05
Zn	<0.05
As	<10
Nb	1.1
Mo	1.6

*1 <：偵測極限
*2 以上圖表僅為測量範例，無法保證必定能得到如此的結果。