고집적 반도체 제품들이 빠르게 성장함에 따라 카본 표면에서의 가스 탈착과 먼지와 불순물의 양을 줄이기 위해 고순도 흑연의 수요가 증가하였습니다. CVD 공정을 통해 등방성 흑연 위에 SiC 층을 증착하여 만든 PERMA KOTE™는 반도체 제조업에 널리 사용되고 있습니다.
PYROGRAPH™는 당사의 자체 CVD 공정을 통해 열분해 탄소를 증착한 고순도 흑연 제품입니다. 이 제품은 기체 투과를 줄이고 반응을 막아주는 효과가 있어서 분석 장비 부품, 고온 반응기 부품, 그리고 모든 유형의 공구에 종종 사용됩니다.