TaC(炭化タンタル)被覆黒鉛材　EVEREDKOTE®-B

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EVEREDKOTE®-Bは、当社独自のCVD技術にて高純度黒鉛基材に緻密なTaC（タンタルカーバイド）膜を被覆した材料です。

EVEREDKOTE®-Bの表面および断面組織写真

特長

耐熱性に優れています。
黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
エッチングガスに対する耐反応性に優れています。

使用用途例

SiC単結晶成長用部材
MOCVD用部材
耐高温部材

特性・実験データ

一般物理特性

項目	タンタルカーバイド
かさ密度	14.5Mg/m³
融点	3985℃
硬さ	1550HK
電気抵抗率	0.15μΩ・m
熱伝導率	9-22（W/m・K）
線熱膨張率率	7.1(10⁶/K)

※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。
出典：H.Holleck:Material selection for hard coatings, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Dec 1986

各種物質との反応性

反応物質	1200℃×5h	1600℃×5h
塩化水素	◎	◎
アンモニア	◎	◎
水素	◎	◎
酸素	×（600℃以上）

※◎...反応なし　×...著しく反応

塩化水素反応試験：20Torr, HCl/H2=0.30/2.70 L/min（10%）
アンモニア反応試験：20Torr, NH3/H2=0.5/2.0 L/min（20%）
水素反応試験：20Torr, H2 3.0 L/min
酸素：低濃度酸化雰囲気で被覆にクラック、脆化が発生。

アンモニアガスとの反応性

放射率

タンタルカーバイド膜の不純物分析(単位：mass ppm)

元素	含有量
B	< 0.01
N	< 5
Na	< 0.01
Mg	< 0.05
Al	< 0.01
Si	0.14
P	<0.3
S	<0.02
Cl	-0.3wt%
Ca	< 0.05
Ti	< 0.005
V	< 0.005
Cr	< 0.1
Mn	< 0.005
Fe	0.42
Co	< 0.01
Ni	0.06
Cu	<0.05
Zn	< 0.05
As	< 10
Nb	1.1
Mo	1.6

※1 < :検出下限未満を示す
※2 上記数値は測定例であり、保証値ではありません。

TaC(炭化タンタル)被覆黒鉛材 EVEREDKOTE®-B