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熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®
PYROGRAPH®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD(化学的気相成長)法により、熱分解炭素を被覆した製品です。
特長
- 熱分解炭素は、きわめて緻密です。
- 純高純度です。
- 被覆膜により、ガス透過率がきわめて低くなります。
- ガスに対する耐食性に優れています。
- 耐酸化性に優れています。
- 耐熱性に優れています。
- 黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
使用用途・製品
- 原子吸光キュペット
- シリコン単結晶引上げ装置部品
- 有機EL製造装置部品
特性・実験データ
不純物分析例
※測定方法：グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。
※上記は測定例であり、保証値ではありません。
一般物理特性
※熱膨張係数の温度範囲はRT～1000℃です。
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。
ガス透過率
参考文献：炭素材化学会編「炭素材料入門」PP137
放射率
